Sistema al plasma a bassa pressione Aurora Plus
Aurora Plus è una piattaforma per la deposizione avanzata di rivestimenti al plasma a film sottile. La Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) consente di ottenere rivestimenti con opzioni e proprietà quali basso CoF, rivestimenti idrofili e idrofobici.
Ciò lo rende un processo adatto a numerose aree di applicazione, ad esempio nell'industria automobilistica, nella tecnologia dei dispositivi medici e nella produzione di sistemi di tenuta. Lo stretto controllo del processo e la memorizzazione delle ricette assicurano una lavorazione sicura sia nella produzione industriale di serie che nelle applicazioni di ricerca e sviluppo.
- Immersione primaria completa nel plasma per il trattamento uniforme di parti complesse
- Elettrodi unici a parete laterale per il trattamento di più ripiani o di parti più grandi
- Dimensioni della camera: 21,5“ x 15,74” x 16,5"
- Controllo PLC con display touchscreen per uno stretto controllo del processo
- Memorizzazione delle ricette di processo con protezione tramite password
- Regolatori di flusso di massa multipli per un flusso e una miscelazione precisi dei gas
- Generatore RF da 1000 watt, 13,56 RF e rete di abbinamento automatico
- Aggiunta dell'erogazione del precursore liquido termicamente controllata
- Opzione di pulsazione del generatore
- Opzione camera riscaldata
Volete testare i nostri prodotti per il vostro materiale?
Provate: I nostri esperti ingegneri applicativi sono pronti a lavorare con voi per trovare la soluzione migliore per il vostro caso d'uso. Nei nostri laboratori ben attrezzati, insieme pretratteremo i vostri singoli pezzi con la nostra tecnologia al plasma e analizzeremo i risultati.
